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性能参数:
因为这是掌握AMC控制的基础,必须先行;按今后IC的生产要求,生产线的设备采用微环境隔离,各设备间园片的传送采用前开式标准片盒(FOUPs)系统,对园片进行隔离。早已对设备、FOUPs系统及微环境所用的材料要求不释放及吸附有关悬浮分子污染物的问题以及对此污染物的去除措施进行研发,并不断改进中;控制AMC的过滤器。近年来尤其是近2~3年来,对控制AMC过滤器的开发及推出有少进展;A.不释放AMC物质的HEPA/ULPA;低硼超细玻璃纤维过滤器,现已在亚洲及欧洲的IC厂使用较多;b.多孔聚四氟乙稀(ePTFE)过滤器,为薄膜结构,价格比a要高出十倍左右。
下面就来讲下柱温箱的注意事项及日常维护:1.使用前请检查电源插座是否良好接地(仪器附件配备专用插座检测器),若没有请使用足够粗度导线将分体温度控制器与大地连接。应保持柱箱部件的清洁,不用时请切断电源。仪器附件中配备24小时全自动定时器,可用于仪器定时关机,定时开机功能请用户谨慎使用。主体柱温箱前部面板式流量计显示导热液循环流量未达到1.~1.5L/min时,严禁开启制冷系统;加热系统停止使用后,系统温度未降至5℃以下时,严禁开启制冷系统。
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V型架在使用时要先进行安装调试。然后才可以使用。在没有安装调试合格的V型架上工作是没有意义的工作,非专业人员的安装调试V型架是违规的操作,有可能损坏V型架的结构,甚至会造成V型架变形,使之损坏,无法使用。所以使用前,我们要有专业的工作人员进行V型架的安装调试,非专业人员的安装调试是违规的操作,要不可以采用。V型架主要用来安放轴,套筒,圆盘等圆形工件,以便找中心线与划出中心线。一般V型架都是一副两块,两块的平面与V型槽都是在一次安装中磨出的。
丝扣闸阀的安装与维护应注意以下事项:手轮、手柄操作的纹管截止阀可安装在管道的任何位置上。手轮、手柄及伟动机构,不允许作起吊用。介质的流向应与阀体所示箭头方向一致。丝扣闸阀,也叫截门,是使用广泛的一种阀门,它之所以广受欢迎,是由于开闭过程中密封面之间摩擦力小,比较耐用,开启高度不大,制造容易,维修方便,不仅适用于中低压,而且适用于高压。它的闭合原理是,依靠阀杠压力,使阀瓣密封面与阀座密封面紧密贴合,阻止介质流通。
使用前,先检查机器所有紧固件是否拧紧,皮带是否张紧。主轴运转方向必须符合防护罩上所示箭头方向,否则将损坏机器,并可能造身伤害。检查电器是否完整。检查机器粉碎室内有无金属等硬性杂物,否则会打坏刀具,影响机器运转。物料在粉碎前一定要检查纯度,不允许有金属硬杂物混入,以免打坏刀具或引起燃烧等事故。机器上的油杯应经常注入润滑油,机器正常运转。停机前停止加料,如不继续使用,要清除机内遗留物。
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