如果对洁净室内的暖通、动力专业装置和控制系统有严格要求，洁净室的温度控制要求为正负.1华氏度所用花费，可能比基准点为7华氏度，2.度(即标准要求68到72华氏度)的高出2%到5%。在每个洁净室区域内，有局部自动调温器来控制设计温度。它能驱动安装在风管上的局部再热或再冷盘管工作，来满足房间内的湿热的要求。如果使用风机盘管装置，局部自动调温器控制本区域内盘管出口空气的温度。温度控制。花费因素变量：-.34至.19每个洁净室内的相对湿度，通过局部湿度调节器来进行控制。
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