1400℃实验室马弗炉
产品用途：箱式气氛炉适用于高校、科研院所、工矿企业做粉末焙烧、陶瓷烧结、高温实验、化学、材料处理、质量检测之用。可根据用户需要设计制造特殊规格产品。
温度
参数
1000℃
1200℃
1400℃
1600℃
1700℃
1800℃
电压AC
220V/380V
220V/380V
220V/380V
220V/380V
220V/380V
220V/380V
工作温度
1000℃
1200℃
1400℃
1600℃
1700℃
1800℃
工作温度
1000℃
1200℃
1350℃
1550℃
1650℃
1750℃
炉内温场均匀性
±1℃（根据加热室大小而定）
±1℃（根据加热室大小而定）
±1℃（根据加热室大小而定）
±1℃（根据加热室大小而定）
±1℃（根据加热室大小而定）
±1℃（根据加热室大小而定）
测温元件及测温范围
镍铬镍硅K测温范围0-1300℃
镍铬镍硅K测温范围0-1300℃
铂铑铂S
测温范围0-1700℃
铂铑铂B
测温范围0-1820℃
铂铑铂B
测温范围0-1820℃
铂铑铂或者光纤红外测温
程序曲线段
30段
30段
30段
30段
30段
30段
升温速度
1℃/h-20℃/min
1℃/h-20℃/min
1℃/h-20℃/min
1℃/h-20℃/min
1℃/h-20℃/min
1℃/h-20℃/min
发热原件
HRE电阻丝
HRE电阻丝
硅碳棒
1700型硅钼棒
1800型硅钼棒
1900型硅钼棒
耐火材料
进口高纯氧化铝纤维板
进口高纯氧化铝纤维板
进口高纯氧化铝纤维板
进口高纯氧化铝纤维板
进口摩根轻质材料
进口摩根轻质材料
冷却方式
双层炉壳，风冷
双层炉壳，风冷
双层炉壳，风冷
双层炉壳，风冷
双层炉壳，风冷
双层炉壳，风冷
炉体温度
≤45度
≤45度
≤45度
≤45度
≤45度
≤45度
保修范围及期限
电炉免费保修一年，发热元件不保修（三个月内自然损坏免费更换）
客户选配
1. 坩埚、匣钵、刚玉炉垫板/碳化硅垫板
2. RS485通讯、计算机控制软件及硬件
3. 触摸屏控制温度控制器
4. 无纸记录仪
5. 加排气口
6. 耗材：发热元件，测温原件
7. 加观察口，内窥镜
炉膛尺寸可根据客户要求定制
1400℃实验室马弗炉
AMC对当前的IC生产其潜在的污染比粒子污染要广泛多，粒子污染控制只要确定粒径及个数，但对AMC控制而言，除了受芯片线宽的缩小而变化外，并受工艺、工艺设备、工艺材料及园片传送系统等的影响，更有甚者用于某一工序的各种工艺材料(化学品、特种气体等)在很多情况下其微量的分子对下一工序往往可能是污染物，而园片加工工序当前已多于3多个独立工序，对AMC控制指标的确定更是复杂。IC生产对AMC的控制，对不同的产品、不同的工艺、不同的工序及不同的工艺材料会有不同的要求，对各种污染物质的要求当前总的说法是控制在亚pptm～1pptm间。